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半导体装备及零部件国产替换加速

克日,在美国一连施压对华禁运要害半导体手艺的情形下,荷兰政府正准备对半导体装备实验新的出口限制 。荷兰光刻机大厂ASML通过官网宣布了《关于特殊出口管制的声明》,强调荷兰政府的出口管制并不涉及所有浸没式光刻装备,只涉及“最先进”装备 。

  业内人士体现,现在半导体装备行业空间辽阔,国产化历程有望加速推进 。建议重点关注装备低国产化率环节的突破,检丈量测装备、涂胶显影装备、PECVD装备等国产化率仍缺乏10%,外洋多边限制配景下国产替换诉求迫切,低国产化率环节有望迎来加速突破,给相关厂商该部分营业带来强业绩弹性 。

  事务驱动 荷兰对光刻机出口进一步限制

  3月8日,荷兰宣布正式加入美国在半导体行业中对中国的限制行列,同时荷兰光刻机大厂ASML通过官网宣布了 《关于特殊出口管制的声明》,强调荷兰政府的出口管制并不涉及所有浸没式光刻装备,只涉及“最先进”装备 。ASML将“最先进”装备界说为TWINSCANNXT:2000i及之后的浸没式光刻系统 。

  凭证ASML官网,TWINSCANNXT:1980Di是管制之外制程较为先进的光刻装备,可以知足38nm以上的制程工艺,但现实理论上可以知足14-28nm的工艺生产,只是办法更为重大,本钱更高 。关于海内的晶圆厂来说,若是在荷兰的限制之外,仍然能够采购到知足14-28nm工艺的光刻机装备,那么国产线的推进仍然可以继续,晶圆厂的扩张有望重回正轨 。

  凭证2022年财报,2022年公司共出货345台光刻系统,其中有81台浸没式DUV光刻机(ArFi),占比为23% 。所有产品中,29%销往韩国,14%销往中国,销往美国的只有7% 。出口受到限制,ASML收入或将受到滋扰 。

  现在海内大部分产线不受荷兰光刻机出口限制影响 。在中国与ASML有直接供应关系的企业主要是芯片制造商,有中芯国际、华力半导体、长江存储等中国企业,尚有三星的西安工厂、台积电南京厂、英特尔大连厂、无锡SK海力士厂等外资企业 。凭证果真报道,现在天下各地建设的半导体厂约有数百家,除了头部的半导体厂,真正能用上浸润式DUV的工厂并未几,整体的建设处于尚未形陋习模效益的初期阶段,月产能抵达数十万片晶圆的产线是很是少的 。同时,这些产线不涉及先进芯片,主要用于生产手艺相对成熟的芯片 。

  光刻机是制造芯片的焦点装备,制造难度极大,国产光刻机仍较为落伍 。现在高端光刻机制造领域,全球只有少数几家公司能掌握 。

  事务解读 半导体装备国产化亟待突破

  光刻机是集成电路制造的焦点装备之一,制造难度极高 。光刻是决议集成电路集成度的焦点工序,光刻即将电路图形信息从掩模版上保真传输、转印到半导体质料衬底上,其基来源理是,使用涂敷在衬底外貌的光刻胶的光化学反应作用,纪录掩模版上的电路图形,从而实现转印的目的 。

  光刻机生长至今,履历了5代产品的迭代,已从最初的g-line,i-line历经KrF、ArF生长到了现在的EUV 。全球TOP3光刻机厂商2021年销量结构中,EUV、i-line、ArFi、KrF、ArF、装备划分占比9%、32%、18%、36%、5% 。

  从手艺角度看,光刻机等半导体装备保存较高的手艺壁垒 。半导体装备是由成千上万的零部件组成的重大系统,将成千上万的零部件有机组合在一起实现细腻至nm级别的操作;包管装备在nm级别的操作基础上的超高良率;包管装备在实现以上两个要求的基础上长时间稳固的运行 。因此,半导体装备尤其是光刻机,与半导体先进制程的突破和良率的提升细密相关,以光刻机为首的半导体装备国产化亟待突破 。

  现在,半导体装备整体国产化率整体仅15%左右,在新型举国体制配景下,下游晶圆厂有望加速导入国产装备,有以本钱和良率换国产化率的可能,因此国产化率保存潜在超预期时机 。整体来看,纵然今年海内资源开支受到外部装备管制的负面影响,但国产化率的加速提升有望对冲掉资源开支下行的负面影响,半导体装备厂商依然有望在今年迎来加速式生长 。

  2021年全球半导体市场规模达5950亿美元,同比增添26.3%,未来5G及汽车电子化的生长,有望发动半导体行业进入新的增恒久,预计2026年全球半导体市场规模将抵达7900亿美元,维持6%左右的年均复合增速 。晶圆制造质料包括硅片及硅质料、光掩膜、电子气体、光刻胶及配套试剂、CMP抛光质料、工艺化学品及靶材等 。从近几年半导体质料、装备的需求占比来看,工业转移确实能发动外地配套需求的提升,我国半导体质料市场规模占全球的比重由2006年的6%提升到2020年的18%,半导体装备市场规模占全球比重也有望由2016年的16%提升到25% 。内资晶圆厂的崛起将发动海内半导体质料需求的提升,而高对外依存度将为海内半导体质料企业提供更为辽阔的生长空间 。

  

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